微位移導向機構用來傳遞驅動器的運動和力，保證運動平臺能按照一定的自由度產生所需的位移，包括支撐結構與放大機構。常用的微位移導向機構有以下幾種：

　　滾動導軌是在兩導軌面間放入滾針、滾珠和滾柱等滾動體，靠滾動摩擦進行運動。滾動導軌的優點是摩擦阻力較小，導軌運動靈敏，行程大、工藝學好，定位精度較高，可達微米量級；缺點是點線接觸，接觸應力大，對污物比較敏感，需要很好的防護，其結構比滑動導軌復雜，制造成本高。納米位移臺采用閉循環系統實際操作，電動位移臺，大行程安排是20cm，緊湊型的設計方案能夠出示毫米的產生，本身負荷力大，能夠負荷300g。采用單一精準定位設備能夠完成粗靠近和細致掃描儀二種實際操作，電動位移臺安裝，再加其有非常高的可靠性，因此不容易存有機械設備灑脫的狀況。

　　滑動導軌是一種支撐件和運動間直接接觸、作滑動摩擦運動的普通導軌。滑動導軌的優點是結構簡單、使用維護方便；缺點是未形成液體摩擦時低速易爬行、磨損大、壽命短、運動精度不穩定。一般較少在微納定位系統中使用。

　　納米位移臺是現階段精密度較高的檢測儀器，普遍用以各種各樣規定較為高的場地，非常是真空泵和超低溫場地，應用它能夠開展精確的精確測量。

　　帶電容式傳感器，實現亞納米分辨率電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優異的運動線性、長期穩定性和千赫茲范圍的帶寬。

　　納米位移臺自動配置和快速部件更換機械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數均存儲在機械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當控制器啟動時，數字控制器的自動校準功能就會使用這些數據。