壓電納米定位
NANO MOTOR納米級定位解決方案提供商
納米定位精密測量納米壓痕微納操縱MLS-1740系列多軸定位平臺產品由預堆疊的LS-1740系列納米馬達組成,即裝即用。所有產品均可在空氣、高真空、超高真空以及無磁環境下使用。MLS-1740-3D所用定位臺為LS-1740,運動為26x26x26mm。
LS-24系列直線定位平臺相比LS-17系列的產品剛度更大,可在長行程范圍內提供更高的運動精度。LS-24105的尺寸為105 x 24 x 12mm,行程范圍為69mm。
GON-59偏擺平臺堆疊后有共同的旋轉中心點,形成一個極其緊湊和穩固的偏擺系統。該系列偏擺臺與WLS系列或RS系列定位平臺集成到六軸串聯定位臺。
RS6023旋轉定位平臺均采用壓電粘滑驅動技術原理,RS系列旋轉臺與LS系列直線定位臺很容易進行組合成多功能系統,RS系列有多種型號可以選擇,同時有開環、閉環不同選項以及超高真空等特殊環境版本。
HF-5-20高負載平臺內部采用楔形機械設計結構,外部配備額外的恒力彈簧,豎直方向利用閉環LS系列直線定位臺,更好的提高了穩定載升能力的同時確保了定位分辨率。HFS系列與LS和RS系列定位臺可以自由組合。
MLS-1740系列多軸定位平臺產品由預堆疊的LS-1740系列納米馬達組成,即裝即用。所有產品均可在空氣、高真空、超高真空以及無磁環境下使用。MLS-1740-4D所用定位臺為LS-1740,運動為26x26x26x26mm。
LS-24系列直線定位平臺相比LS-17系列的產品剛度更大,可在長行程范圍內提供更高的運動精度。 LS-24120的尺寸為120 x 24 x 12mm,行程范圍為83mm。