微小力傳感器MEMS是英文和縮寫,即微電子機械系統(tǒng)。
微小力傳感器作用:
1、11電阻應變型式傳感器定義。
2、被測的動態(tài)壓力作用當從彈性敏感元件上所,使這點產生變形,特別是在后者變形的部位粘貼有電阻應變片,電阻應變片感受動態(tài)壓力的變化,嚴格按照這些原理設計的傳感器稱。
3、乃為電阻應變開放式壓力傳感器。
4、2電阻應變固定式傳感器的工作原理。
5、電阻應變開放式傳感器時所粘貼的金屬電阻應變片主要就有絲式應變片與其箔式應變片。
6、箔式應變片是與以厚度為對0.002——0.008mm的金屬箔片作為敏感柵材料,,箔柵寬度作為0.003——0.008mm。
7、絲式應變片是主要由三根具有高電阻系數的電阻絲(直徑0.0150.05mm),平行地排成柵形(一般2——40條),電阻值60——200。
微電子機械系統(tǒng)(MEMS)技術是建立當在微米/納米技術(micro/)基礎上或者說21世紀前沿技術,是指對企業(yè)微米/納米材料進行設計、加工、制造、測量與控制的的技術。或者說可以令機械構件、物鏡、驅動部件、電控系統(tǒng)集成等為一條整體單元總之微型系統(tǒng)。
這樣微電子機械系統(tǒng)不光能夠采集、處理與非發(fā)送信息或非指令,也能夠根據所能獲取和信息自主地或是參照內外部的的指令采取行動。這個試圖用微電子技術及微加工技術(包括硅體微加工、硅表面微加工、LIGA例如晶片鍵合等技術)相結合的的制造工藝,制造出各式各樣性能優(yōu)異、價格低廉、微型化在我看來傳感器、執(zhí)行器、驅動器及微系統(tǒng)。
微小力傳感器應用:
1、壓力傳感器檢測系統(tǒng)有著廣泛的應用,尤其是微型波形壓力傳感器礙于后者體積小巧的優(yōu)勢獲得了能很大的發(fā)展空間。
2、隨住科技的發(fā)展及人們生活水平的提高,微型壓力傳感器的應用得到了有繼續(xù)的擴展,在此之后,微型壓力傳感器反倒成為了為第二種越發(fā)重要的電子元器件。
3、傳統(tǒng)的壓力傳感器沒有微型壓力傳感器的體積小巧,相應地,因其封裝體積相當傳感器體積元洋,那使得傳統(tǒng)壓力傳感器需從一些領域的應用上時受到了有很大的限制。
4、隨住微型壓力傳感器的發(fā)展,微型壓力傳感器的封裝設計成為了能微型壓力傳感器是否能得到廣泛應用的關鍵性技術問題。