納米壓痕儀可以執(zhí)行熱壓印以及紫外壓印,CNI納米壓印機(jī)是納米復(fù)制的wan美起點,同時也支持成熟和高級的開發(fā)工作,納米壓印機(jī)操作簡單,堅固耐用,便于非標(biāo)準(zhǔn)流程和新實驗。憑借其熱壓印和紫外壓印的功能,如果需要,在真空中,CNI v2.1 PV納米壓印機(jī)在其產(chǎn)品中是優(yōu)勢,并支持許多不同的技術(shù)和工藝。
特
一步自動釋放功能,可防止分離過程中模具/基材損壞,使壓印產(chǎn)量支持各種類型的硬模和軟模可變模具和基材尺寸,靈活方便可編程PLC,通過自定義參數(shù)進(jìn)行過程控制,帶觸摸屏用戶界面對準(zhǔn)功能選項多種工藝,適用于各種應(yīng)用光學(xué)器件,顯示器,數(shù)據(jù)存儲,生物醫(yī)學(xué)器件,半導(dǎo)體IC,化學(xué)合成和先進(jìn)材料等。
專有的紫外線固化納米壓印抗蝕劑對硬度或厚度沒有限制,并且與傳統(tǒng)的光刻工藝兼容。
納米壓痕儀擁有以下優(yōu)勢:
1、分辨率優(yōu)于10μm,產(chǎn)率優(yōu)于99%;
2、同時適用于軟模和剛性模板;
3、自動脫模,防止模板和基板損壞;
4、可壓印不同尺寸的模板和基片,方便靈活;
5、可編程的PLC觸屏界面;
6、對準(zhǔn)選項。