國產納米壓痕儀通過掃描材料表面實現對材料力學性能的納米尺度的高精度測量，精確給出硬度，彈性模量，楊氏模量等材料力學性能，并實現靜態壓痕測量和動態壓痕測量以及sclerometry測量，同時具備原子力顯微鏡和納米硬度測量儀的功能。
納米壓痕儀的基本組成可以分為控制系統、移動線圈系統、加載系統及壓頭等幾個部分。壓頭一般使用金剛石壓頭，分為三角錐或四棱錐等類型。試驗時，首先輸入初始參數，之后的檢測過程則*由微機自動控制，通過改變移動線圈系統中的電流，可以操縱加載系統和壓頭的動作，壓頭壓入載荷的測量和控制通過應變儀來完成，同時應變儀還將信號反饋到移動線圈系統以實現閉環控制，從而按照輸入參數的設置完成試驗。使用納米壓痕儀要滿足哪些要求：
1.樣品要求：上下表面平行拋光，直徑不超過30mm，高度不超過20mm，如果高度超過10mm，直徑需保證是30mm左右，如果直徑小于10mm，那么高度建議5mm以下，利于樣品測試過程中的穩固；如果是鑲的樣品，加工成直徑31.5mm，要不然容易打偏；
2.特別注意：試樣厚度至少大于壓入深度h的10倍以上，壓入深度h至少是粗糙度Ra的20倍；壓入深度小于100nm數據可靠度不高；壓入深度一般2-3微米，深度再大沒有太大意義；對于表面比較粗糙的樣品，測試結果比較離散，建議測試點數不低于10個；樣品表面平整，不得有油污、顆粒物等污染物；提供樣品的泊松比。
